恭喜株式会社ORC制作所绿川悟获国家专利权
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龙图腾网恭喜株式会社ORC制作所申请的专利直接曝光装置和基板的曝光方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112859532B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-02-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011296878.6，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权直接曝光装置和基板的曝光方法是由绿川悟设计研发完成，并于2020-11-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本直接曝光装置和基板的曝光方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种直接曝光装置和基板的曝光方法。能够良好地保持曝光区域的平面度，即使是焦点深度浅的曝光光学系统，也能够对可进行高分辨率的图案曝光的基板的两个面同时进行曝光。直接曝光装置具有：一对曝光单元，它们隔着基板对置配置；以及一对吸附部，它们在各曝光单元的曝光区域中吸附所述基板的与所述曝光区域相反的面。
本发明授权直接曝光装置和基板的曝光方法在权利要求书中公布了：1.一种直接曝光装置，其具有：一对曝光单元，它们隔着基板对置，分别配置于所述基板的两侧；以及一对吸附部，它们隔着所述基板对置，分别配置于所述基板的两侧，所述吸附部分别具有：分别对所述基板的与曝光区域相反的面进行吸附保持的多个具有平坦的吸附面的曝光区域保持部；和与该曝光区域保持部相邻且供曝光光穿过的多个带状的开口部，所述一对曝光单元中的一个曝光单元的曝光区域与另一个曝光单元的曝光区域以在副扫描方向Y上错开的方式配置，在所述基板的一侧的所述曝光区域保持部和所述基板的另一侧的所述曝光区域保持部吸附所述基板的状态下，所述曝光单元进行曝光。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人株式会社ORC制作所，其通讯地址为：日本东京都；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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