买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜应用材料公司申请的专利掩模定向获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114930253B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-02-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080090426.4，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权掩模定向是由徐永安;罗格·梅耶·蒂默曼·蒂杰森;郭津睿;卢多维克·戈代设计研发完成，并于2020-12-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本掩模定向在说明书摘要公布了：提供了一种在基板上形成图案化特征的方法。该方法包括以下步骤：将布置在掩模布局中的多个掩模定位在基板上方。基板定位在第一平面中，且多个掩模定位在第二平面中，掩模布局中的多个掩模具有多个边缘，多个边缘各自平行于第一平面且平行或垂直于基板上的对准特征延伸，基板包括多个分区，多个分区被配置为被引导通过布置在掩模布局中的掩模的能量图案化。该方法进一步包括以下步骤：通过基板上方的掩模布局中布置的多个掩模向多个分区引导能量，以在多个分区的各者中形成多个图案化特征。

本发明授权掩模定向在权利要求书中公布了：1.一种在基板上形成图案化特征的方法，包括以下步骤：基于掩模布局将多个掩模定位在基板上方，其中当根据所述掩模布局定位所述多个掩模时，所述基板定位在第一平面中，且所述多个掩模定位在第二平面中，所述掩模布局中的所述多个掩模具有多个边缘，所述多个边缘各自平行于所述第一平面且平行或垂直于所述基板上的对准特征延伸，所述基板包括多个分区，所述多个分区被配置为被引导通过布置在所述掩模布局中的所述多个掩模的能量图案化，被配置为被图案化的所述多个分区被未被配置为被引导通过所述多个掩模的能量图案化的一个或多个分区彼此分隔开，且被配置为被图案化的所述多个分区中的每个分区沿着从所述第一平面中的方向偏移至少5度的方向与被配置为被图案化的所述多个分区中的最接近分区分隔开最短距离，所述第一平面中的所述方向平行于或垂直于所述基板上的所述对准特征延伸；及当根据所述掩模布局将所述多个掩模定位在所述基板上方时，通过所述多个掩模朝向所述多个分区引导能量，所引导的所述能量在所述多个分区的各者中形成多个图案化特征，其中沿着所述第一平面中的在平行或垂直于所述对准特征的±2.5度内的方向延伸的所形成的所述多个图案化特征的数量大于沿着所述第一平面中的没有在平行或垂直于所述对准特征的±2.5度内对准的方向延伸的所形成的所述多个图案化特征的数量。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人应用材料公司，其通讯地址为：美国加利福尼亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。