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龙图腾网恭喜中国计量大学申请的专利一种可重复定位的扫描探针显微镜获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112684210B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-02-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110086099.1，技术领域涉及：G01Q10/02；该发明授权一种可重复定位的扫描探针显微镜是由夏志刚;郭文璟;张晶晶设计研发完成，并于2021-01-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种可重复定位的扫描探针显微镜在说明书摘要公布了：一种可重复定位的扫描探针显微镜，包括镜体、步进器、预紧部件、扫描部件和样品台；该镜体包括三个相互平行的直线导向轨道，在其中两个直线导向轨道上置有步进器，该步进器被第三个直线导向轨道通过预紧部件压在上述的两个直线导向轨道上；该步进器包括一个支撑滑块、两个内滑块和三个压电体；所述的支撑滑块的两顶端的截面均为与上述两直线导向轨道的截面相匹配的斜面，并且该支撑滑块与上述两直线导向轨道形成四点刚性接触的大力矩稳固结构。该扫描探针显微镜在粗逼近退针过程中不产生横向偏移，它在毫米级行程往复粗逼近后退时，探针在样品同一区域的定位偏差小于30纳米。本发明尺寸小、结构紧凑、环境兼容性强、具有可重复定位功能。

本发明授权一种可重复定位的扫描探针显微镜在权利要求书中公布了：1.一种可重复定位的扫描探针显微镜，包括镜体、步进器、预紧部件、扫描部件和样品台，其特征在于，所述的镜体包括三个相互平行的直线导向轨道，在其中两个直线导向轨道上置有步进器，该步进器被第三个直线导向轨道通过预紧部件压在上述的两个直线导向轨道上；所述的步进器包括一个支撑滑块、两个内滑块和三个压电体；所述的支撑滑块为一刚性框架结构；所述的三个压电体分布在支撑滑块与内滑块之间以及内滑块与内滑块之间，并且与支撑滑块和内滑块构成一个致密的整体；步进器为平面对称结构，三条直线导向轨道的分布也为平面对称结构，并且直线导向轨道的截面与步进器的接触面自适应配合；所述的扫描部件样品台被固定在镜体步进器上；所述的扫描部件包括扫描压电体固定台、扫描压电体、探针架、探针；所述的样品台包括样品底座、样品基底、样品。

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