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龙图腾网恭喜浙江晶盛机电股份有限公司申请的专利一种晶片边缘抛光装置和抛光方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112872960B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-02-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110148553.1，技术领域涉及：B24B9/06；该发明授权一种晶片边缘抛光装置和抛光方法是由朱亮;沈文杰;谢龙辉;谢永旭;陈明;倪少博;张帅;曹建伟设计研发完成，并于2021-02-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶片边缘抛光装置和抛光方法在说明书摘要公布了：本发明属于晶片抛光设备领域，具体涉及一种晶片边缘抛光装置和抛光方法。包括晶片固定翻转组件，晶片固定翻转组件包括推进直线模组和机座，从动支撑座设于机座旁侧，从动支撑座上也设有能摆动的支撑臂，支撑臂与摆臂分设于晶片旋转组件两侧用于支撑晶片旋转组件；晶片设于晶片旋转组件上；抛头驱动组件包括基座，直线轴承安装板安装在基座上，直线轴承安装板上设有多个直线轴承，每个直线轴承内设有一根导向轴，导向轴的上端与上连接板固定，下端与下安装板固定；抛头组件通过轴设于下安装板下方。本发明防止了抛光液的到处飞溅，而且大大降低了抛光液的损耗量，最关键的是不会在晶片表面残留有抛光液，解决了晶片表面产生吸附痕迹的问题。

本发明授权一种晶片边缘抛光装置和抛光方法在权利要求书中公布了：1.一种晶片边缘抛光装置，其特征在于，包括晶片固定翻转组件、晶片旋转组件和抛头驱动组件；所述晶片固定翻转组件包括推进直线模组和机座，推进直线模组安装在推进直线模组安装板上，顶紧气缸安装块固定在推进直线模组的滑块上；顶紧气缸固定在顶紧气缸安装块上，气缸活塞杆连接顶紧块，顶紧块安装在支撑座连接块上，支撑座连接块上固定安装有支撑座和摆动电机安装座；摆动电机安装座上安装有摆动电机，主动带轮安装在摆动电机上；机座侧部设有水平直线导轨，支撑座与直线导轨的滑块相连，机座内顶部设有水平摆动转轴，从动带轮安装在摆动转轴一端，同步带轮将主动带轮和从动带轮相连；摆臂安装固定在摆动转轴的另一端，从动支撑座设于机座旁侧，从动支撑座上也设有能摆动的支撑臂，支撑臂与摆臂分设于晶片旋转组件两侧用于支撑晶片旋转组件；晶片设于晶片旋转组件上；所述抛头驱动组件包括基座，基座固定在机架上，直线轴承安装板安装在基座上，直线轴承安装板上设有多个直线轴承，每个直线轴承内设有一根导向轴，导向轴的上端与上连接板固定，下端与下安装板固定；上安装板与升降直线模组的滑块相连，在升降直线模组的驱动下，下安装板能上下做直线运动；下安装板上安装有抛头驱动电机安装座，抛头驱动电机安装座上安装有抛头驱动电机，电机的输出轴上固定有主动齿轮，抛头组件通过轴设于下安装板下方，所述轴顶端设有从动齿轮，从动齿轮与所述主动齿轮啮合；抛头组件包括抛光布，下安装板下方还设有喷嘴安装块，喷嘴安装块上设有扇形喷头，用于向抛光布上喷射抛光液；晶片旋转组件包括旋转电机安装座，旋转电机安装在旋转电机安装座上，旋转轴安装在旋转电机上，旋转轴的上端安装有真空吸盘，下端安装有真空旋转接头；旋转电机安装座的两侧对称水平安装有两个定位气缸，导向杆的一端与气缸活塞杆相连，另一端连接定位滑块，定位滑块上设有个定位导轮；抛头组件包括还包括旋转接头和抛头轴承，抛头轴承通过抛头轴承座安装在下安装板上，抛头轴承内圈安装有空心抛头转轴，从动齿轮安装在抛头转轴上部，抛头转轴的上端安装有旋转接头；抛光布安装块安装在抛头转轴的下端，抛光布设于抛光布安装块上；抛光液导管设于抛头转轴内，顶端连通旋转接头，底端与抛光布安装块相连，抛光布安装块内设有液体通路，与抛光液导管连通。

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