恭喜东京毅力科创株式会社佐藤充明获国家专利权
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龙图腾网恭喜东京毅力科创株式会社申请的专利基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113380658B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-02-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110208992.7，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基板处理装置是由佐藤充明设计研发完成，并于2021-02-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种基板处理装置,其抑制放电的产生。该基板处理装置包括:第一板件,其具有第一气体导入路；第二板件,其具有第二气体导入路；以及气体导入部件,其配置于上述第一板件和上述第二板件之间,并且将上述第一气体导入路和上述第二气体导入路连接,上述气体导入部件具有:外筒体,其将上述第一气体导入路和上述第二气体导入路连通；以及芯材,其配置于上述外筒体内,上述芯材具有轴体以及弹性多孔体。
本发明授权基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置,包括:第一板件,其具有第一气体导入路；第二板件,其具有第二气体导入路；以及气体导入部件,其配置于上述第一板件和上述第二板件之间,并且将上述第一气体导入路和上述第二气体导入路连接；上述气体导入部件具有:外筒体,其将上述第一气体导入路和上述第二气体导入路连通；以及芯材,其配置于上述外筒体内,上述芯材具有轴体以及弹性多孔体，上述轴体具有第一轴体和第二轴体,上述弹性多孔体配置于上述第一轴体与上述第二轴体之间，在上述外筒体的内周面与上述第一轴体的外周面之间形成有间隙。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人东京毅力科创株式会社，其通讯地址为：日本东京；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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