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恭喜重庆康佳光电科技有限公司魏其源获国家专利权

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龙图腾网恭喜重庆康佳光电科技有限公司申请的专利芯片转移系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115050683B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-02-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110254824.1,技术领域涉及:H01L21/683;该发明授权芯片转移系统是由魏其源;岳宏;江永超;曹江设计研发完成,并于2021-03-09向国家知识产权局提交的专利申请。

芯片转移系统在说明书摘要公布了:本发明涉及一种芯片转移系统,在芯片转移时,可直接将承载有待转移芯片的转移基板置入第一腔室,通过吸附控制设备控制对应的第一吸附装置产生的第一吸附力使得芯片与转移基板脱离后,在包括由第一吸附装置产生的第一吸附力和由流体控制设备控制的由第一腔室流至第二腔室的流体产生的推力作用下,随流体移动至第二腔室的设定位置后,再通过包括对第一吸附装置产生的第一吸附力以及流体的控制,即可使得该芯片落至目标基板上对应的芯片键合区上,极大简化了芯片的转移过程,提升其转移效率,能很好的满足微型LED芯片巨量转移的需求。

本发明授权芯片转移系统在权利要求书中公布了:1.一种芯片转移系统,其特征在于,包括箱体,流体设备和吸附设备;所述箱体内形成有相通的第一腔室和第二腔室,所述箱体上设有用于分别向所述第一腔室和所述第二腔室置入转移基板和目标基板的基板置入结构,以及分别与所述第一腔室和所述第二腔室相通的进液口和出液口;所述流体设备包括存储流体的存储装置,所述存储装置通过管道与所述进液口连接,以供所述流体经所述进液口依次流入所述第一腔室和所述第二腔室;所述流体设备还包括用于控制所述流体在所述第一腔室和所述第二腔室内的流速的流体控制设备;所述吸附设备包括若干设于所述箱体上,可在所述第一腔室和所述第二腔室之间移动的第一吸附装置和第二吸附装置,以及控制所述第一吸附装置产生第一吸附力大小和控制所述第二吸附装置产生第二吸附力大小的吸附控制设备;所述第一吸附装置与所述转移基板上用于承载芯片的芯片承载面相对设置;所述第二吸附装置与所述芯片承载面相背的一面相对设置;在芯片转移时,位于所述转移基板上的芯片在对应的所述第一吸附装置产生的第一吸附力作用下脱离所述转移基板,并在包括由所述第一吸附力、对应的所述第二吸附装置产生的第二吸附力以及由所述第一腔室流至所述第二腔室的流体产生的推力作用下,随所述流体移动至所述第二腔室的设定位置后,通过包括对所述第一吸附力、所述第二吸附力和所述流体的控制,落至所述目标基板上对应的芯片键合区上。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人重庆康佳光电科技有限公司,其通讯地址为:402760 重庆市璧山区璧泉街道钨山路69号(1号厂房);或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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