恭喜苏州海光芯创光电科技股份有限公司林天营获国家专利权
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龙图腾网恭喜苏州海光芯创光电科技股份有限公司申请的专利晶圆的工艺故障预测方法、装置、电子设备及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113553795B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-02-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110873238.5，技术领域涉及：G06F30/33；该发明授权晶圆的工艺故障预测方法、装置、电子设备及存储介质是由林天营;孙旭;陈晓刚设计研发完成，并于2021-07-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆的工艺故障预测方法、装置、电子设备及存储介质在说明书摘要公布了：本发明实施例公开了一种晶圆的工艺故障预测方法、装置、电子设备及存储介质。该方法包括根据工艺控制监控单元反馈的检测参数确定检测参数矩阵；将检测参数矩阵输入工艺故障预测模型；获取工艺故障预测模型输出的预测结果矩阵；晶圆包括器件放置区，器件放置区的中心、器件放置区的内切N边形的顶点、以及顶点与中心的连线的中点为基准点，晶圆还包括多个光罩区，基准点所在的光罩区设置有工艺控制监控单元；预测结果矩阵包括多个第一元素，晶圆的制备过程包括多道工艺步骤，不同第一元素用于表征不同工艺步骤中出现故障的概率。本发明实施例提供的技术方案可减少晶圆检测的时间、以及实现对晶圆制备过程中各工艺步骤进行工艺故障预测。
本发明授权晶圆的工艺故障预测方法、装置、电子设备及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种晶圆的工艺故障预测方法，其特征在于，包括：根据工艺控制监控单元反馈的检测参数确定检测参数矩阵；将所述检测参数矩阵输入工艺故障预测模型；获取所述工艺故障预测模型输出的预测结果矩阵；其中，晶圆包括器件放置区，所述器件放置区的中心、所述器件放置区的内切N边形的顶点、以及所述顶点与所述中心的连线的中点为基准点，所述晶圆还包括多个光罩区，所述基准点所在的所述光罩区设置有所述工艺控制监控单元，N为大于3的整数；其中，所述预测结果矩阵包括多个第一元素，所述晶圆的制备过程包括多道工艺步骤，不同所述第一元素用于表征不同工艺步骤中出现故障的概率。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州海光芯创光电科技股份有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区平胜路1号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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