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龙图腾网恭喜杭州广立微电子股份有限公司申请的专利一种晶圆测试参数的相关性判断方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113933672B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-02-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111109950.4，技术领域涉及：G01R31/26；该发明授权一种晶圆测试参数的相关性判断方法及系统是由邵康鹏设计研发完成，并于2021-09-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆测试参数的相关性判断方法及系统在说明书摘要公布了：本发明提供一种晶圆测试参数的相关性判断方法，包括：数据获取，得到N个测试参数组；对N个测试参数组分别进行数据预处理，得到N个第一参数组；对N个第一参数组降维，得到N个第二参数组；确定N个第二参数组要分组的个数k，得到k个起始质心；自动分组并进行相关性判断。采用本方法能自动识别不同测试方法下的晶圆测试参数的相关性，能快速寻找到相关性高的晶圆测试参数组，并快速进行数据分析，节约时间和成本；有利于进一步提高良率分析的准确率。本发明还提供一种晶圆测试参数的相关性判断系统，因采用本发明的一种晶圆测试的相关性判断方法而具有相应优势。

本发明授权一种晶圆测试参数的相关性判断方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种晶圆测试参数的相关性判断方法，其特征在于，包括：步骤S1.采用N种测试方法进行晶圆电性测试获得测试结果，即获取N个测试参数组；其中，N为不小于2的正整数；步骤S2.对每个所述测试参数组分别进行数据预处理，得到N个第一参数组，使得每个所述第一参数组的参数分布符合正态分布或对数正态分布；步骤S3.预设特征维数g；对N个所述第一参数组分别进行特征提取并降维，得到N个第二参数组，所述第二参数组包括g维特征数据；步骤S4.确定N个所述第二参数组要分组的个数，记为k；并得出k个起始质心；步骤S5.自动分组，并进行相关性判断，包括：基于所述步骤S4的结果，计算得出k个合理质心；基于所述合理质心将N个所述第二参数组分成k个组；则判定同一组内的所述第二参数组具有相关性，即同一组内的所述测试参数组具有相关性。

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