恭喜昂图创新有限公司A·沙查夫获国家专利权
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龙图腾网恭喜昂图创新有限公司申请的专利用于光学计量设备的聚焦系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116745600B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-02-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180090044.6，技术领域涉及：G01N21/17；该发明授权用于光学计量设备的聚焦系统是由A·沙查夫;D·汤普森;J·F·莱索因设计研发完成，并于2021-11-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于光学计量设备的聚焦系统在说明书摘要公布了：使用聚焦系统将来自光学计量设备的光聚焦到样本上的测量斑中。该聚焦系统使用从该测量斑反射的光的图像来确定该样本的期望位置处的最佳焦点位置。该聚焦系统选择反射光的诸如偏振状态或波长的特性以用于聚焦。该反射光的被选择用于确定焦点位置的该特性受到该样本的不同部分的不同影响。例如，从样本的顶表面反射的光可具有与由下面层反射的光不同的特性。该反射光的所选特性被该聚焦系统用来将该测量斑聚焦在该样本的该顶表面或下面层处。
本发明授权用于光学计量设备的聚焦系统在权利要求书中公布了：1.一种用于确定光学计量设备的聚焦位置的聚焦系统，所述聚焦系统包括：分束器，所述分束器定位在反射光的光路径中，所述分束器被配置为将所述反射光的一部分引导到测量检测器并将所述反射光的剩余部分引导到聚焦检测器；所述聚焦检测器被定位成从所述分束器接收所述反射光的所述剩余部分，所述聚焦检测器在检测器阵列上接收所述反射光的图像，其中，基于所述反射光的特性来选择被用于确定所述光学计量设备的所述聚焦位置的光，以产生所述反射光的所述图像，所述反射光的所述图像包括从样本的顶表面反射的光的第一图像和从所述顶表面下面的一个或多个层反射的光的第二图像中的至少一者或其组合，并且基于所述图像的位置和所述反射光的识别所述第一图像和所述第二图像中的至少一者的所述特性生成信号；以及至少一个处理器，所述至少一个处理器被耦合以接收来自所述聚焦检测器的所述信号并基于所述信号来确定所述光学计量设备的所述聚焦位置。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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