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龙图腾网恭喜杭州瑞佑科技有限公司;绿升国际股份有限公司申请的专利以废氢氟酸液为原料制备电子级无机酸的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116081575B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-02-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111311111.0，技术领域涉及：C01B7/19；该发明授权以废氢氟酸液为原料制备电子级无机酸的方法是由甘晋荣设计研发完成，并于2021-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本以废氢氟酸液为原料制备电子级无机酸的方法在说明书摘要公布了：一种以废氢氟酸液为原料制备电子级无机酸的方法，在含有氢氟酸、硝酸及水的废氢氟酸液中投入含有碱金属氟化盐及碱金属硝酸盐的碱金属盐，破坏氢氟酸与水的共沸现象进而精馏分离出氟化氢蒸气，馏余物为硝酸、水、碱金属硝酸盐及碱金属氟化盐形成的混合溶液。再从混合溶液中将硝酸与水蒸发出来形成硝酸‑水混合液，在硝酸‑水混合液中投入碱土金属硝酸盐，破坏硝酸与水的共沸现象进而精馏分离出硝酸。分离得到的氟化氢蒸气及硝酸蒸气分别依序去除含杂质的雾滴、冷凝后加超纯水调浓，制得符合半导体产业所要求纯度标准的电子级氢氟酸及电子级硝酸。

本发明授权以废氢氟酸液为原料制备电子级无机酸的方法在权利要求书中公布了：1.一种以废氢氟酸液为原料制备电子级无机酸的方法，其特征在于，所述方法包含以下步骤：步骤S1：包括在含有氢氟酸、硝酸及水的废氢氟酸液中投入含有碱金属氟化盐及碱金属硝酸盐的碱金属盐以破坏氢氟酸与水的共沸现象，并在真空环境中进行第一精馏处理从而分离出氟化氢蒸气，馏余物为硝酸、水、碱金属硝酸盐及碱金属氟化盐形成的混合溶液，其中，相对于所述废氢氟酸液中所有物质及所述碱金属盐的摩尔总和，所述碱金属盐的用量范围为20mol％至40mol％；步骤S2：包括将所述氟化氢蒸气中所夹带含有杂质的雾滴去除从而得到纯净氟化氢蒸气；步骤S3：包括将所述纯净氟化氢蒸气冷凝后以超纯水调整浓度，从而制得氢氟酸浓度范围为49±0.5％的电子级氢氟酸；步骤S4：包括将所述步骤S1中由所述硝酸、水、碱金属硝酸盐与碱金属氟化盐形成的所述混合溶液在真空环境中进行第一蒸发处理，因而从所述混合溶液中将硝酸与水蒸发出来并形成硝酸-水混合液，以及让所述碱金属硝酸盐、碱金属氟化盐与未被蒸发的水浓缩形成碱金属盐浓缩溶液，且将所述碱金属盐浓缩溶液引入至步骤S1的第一精馏处理中循环使用；步骤S5：包括在所述步骤S4得到的所述硝酸-水混合液中投入碱土金属硝酸盐以破坏硝酸与水的共沸现象，并在真空环境中进行第二精馏处理从而分离出硝酸蒸气，馏余物为碱土金属硝酸盐及水形成的碱土金属硝酸盐溶液；步骤S6：包括将所述硝酸蒸气中所夹带含有杂质的雾滴去除从而得到纯净硝酸蒸气；步骤S7：包括将所述纯净硝酸蒸气冷凝后以超纯水调整浓度，从而制得硝酸浓度范围为70±0.5％的电子级硝酸；及步骤S8：包括将所述步骤S5中得到的所述碱土金属硝酸盐溶液进行第二蒸发处理，以使所述碱土金属硝酸盐溶液中部分的水蒸发掉从而浓缩形成碱土金属硝酸盐浓缩溶液，且将所述碱土金属硝酸盐浓缩溶液引入至步骤S5的第二精馏处理中循环使用。

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