恭喜北京中科九微科技有限公司苏长明获国家专利权
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龙图腾网恭喜北京中科九微科技有限公司申请的专利一种转速随真空度变化的自主调节方法、系统及装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115370601B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-02-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211008375.3,技术领域涉及:F04D27/00;该发明授权一种转速随真空度变化的自主调节方法、系统及装置是由苏长明;王永设计研发完成,并于2022-08-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种转速随真空度变化的自主调节方法、系统及装置在说明书摘要公布了:本申请提供了一种转速随真空度变化的自主调节方法、系统及装置,该方法由自主调节系统中的控制器执行,该自主调节系统还包括分子泵及真空计,该方法包括:先获取目标真空度,当分子泵的转速达到额定转速后,由真空计实时获取测试腔室内的实际真空度;基于该目标真空度及该实际真空度的比较结果,对该分子泵执行加速控制及减速控制中的至少一种控制,以实现该分子泵的恒压工作模式;解决了现有技术中由于分子泵受到冲击变大,功率会增大,进而导致分子泵发热量过大,严重影响分子泵的安全性和可靠性的技术问题,使测试腔室内的真空度快速调节至目标真空度,减小分子泵受到的冲击,提高了分子泵的安全性和可靠性。
本发明授权一种转速随真空度变化的自主调节方法、系统及装置在权利要求书中公布了:1.一种转速随真空度变化的自主调节方法,其特征在于,所述方法由转速随真空度变化的自主调节系统中的控制器执行;所述转速随真空度变化的自主调节系统中还包括分子泵及真空计;所述控制器与所述分子泵通过连接板和连接条连接在一起,所述分子泵与测试腔室连接,所述真空计连接在所述测试腔室上,并与所述控制器相连接,形成信号反馈回路,所述方法包括:获取目标真空度;当分子泵的转速达到额定转速后,获取测试腔室内的实际真空度;所述实际真空度是由真空计实时采集到的;基于所述目标真空度及所述实际真空度的比较结果,对所述分子泵执行加速控制及减速控制中的至少一种控制,以实现所述分子泵的恒压工作模式;所述基于所述目标真空度及所述实际真空度的比较结果,对所述分子泵执行加速控制及减速控制中的至少一种控制,包括:当所述实际真空度高于所述目标真空度时,对所述分子泵执行减速控制,以将所述实际真空度减小到所述目标真空度;当所述实际真空度低于所述目标真空度时,对所述分子泵执行加速控制,以将所述实际真空度增加到所述目标真空度;所述基于所述目标真空度及所述实际真空度的比较结果,对所述分子泵执行加速控制及减速控制中的至少一种控制,包括:获取所述目标真空度的目标可调节范围;当所述实际真空度不在所述目标可调节范围内时,对所述分子泵执行加速控制及减速控制中的至少一种控制;所述当所述实际真空度不在所述目标可调节范围时,对所述分子泵执行加速控制及减速控制中的至少一种控制,包括:基于所述目标可调节范围,获取所述目标真空度的最大可调节阈值及最小可调节阈值;当所述实际真空度高于所述最大可调节阈值时,将所述分子泵的转速减小10%,以将所述实际真空度减小到所述目标可调节范围内;当所述实际真空度低于所述最小可调节阈值时,将所述分子泵的转速加速10%,以将所述实际真空度增加到所述目标可调节范围内。
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