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龙图腾网恭喜中国科学院光电技术研究所申请的专利用于图案形成装置的红外热像仪温度矫正方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115493709B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-02-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211195791.9，技术领域涉及：G01J5/90；该发明授权用于图案形成装置的红外热像仪温度矫正方法及装置是由罗先刚;孙云卿;陈小安;刘明刚;高平;蒲明博设计研发完成，并于2022-09-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于图案形成装置的红外热像仪温度矫正方法及装置在说明书摘要公布了：本公开提供一种用于图案形成装置的红外热像仪温度矫正方法及装置，涉及光刻技术领域，用于解决通过红外热像仪测试图案形成装置温度不准确的问题，方法包括：采用红外热像仪获取图案形成装置工作状态下的第一温度分布数据；获取图案形成装置的第二温度分布数据，其中，第二温度分布数据用作基准数据；计算第一温度分布数据对应的温度值与第二温度分布数据对应的温度值之间的变换矩阵；根据变换矩阵对图案形成装置待矫正的温度分布数据进行矫正。

本发明授权用于图案形成装置的红外热像仪温度矫正方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种用于图案形成装置的红外热像仪温度矫正方法，其特征在于，包括：采用红外热像仪获取图案形成装置工作状态下的第一温度分布数据；获取图案形成装置的第二温度分布数据，其中，所述第二温度分布数据用作基准数据；计算所述第一温度分布数据对应的温度值与所述第二温度分布数据对应的温度值之间的变换矩阵，包括：确定所述图案形成装置的目标区域；获取所述第一温度分布数据所述目标区域对应的第三温度分布数据，获取所述第二温度分布数据所述目标区域对应的第四温度分布数据；对所述第四温度分布数据进行拟合，得到所述第四温度分布数据在所述目标区域内的第一连续温度曲线；对于所述目标区域的每一点位，根据该点位在所述第三温度分布数据中的第一温度值与该点位在所述第一连续温度曲线的第二温度值，计算该点位对应的变换值，其中，目标区域所有点位对应的变换值组成所述变换矩阵；所述计算所述第一温度分布数据对应的温度值与所述第二温度分布数据对应的温度值之间的变换矩阵，还包括：根据 计算所述图案形成装置的目标区域内每一点位对应的变换值，所述目标区域所有点位对应的变换值组成所述变换矩阵，其中，i为所述目标区域内点位的序号，ki为第i个点位对应的变换值，Ttest_i为第i个点位对应的第一温度分布数据对应的温度值，Tobj_i为第i个点位对应的第二温度分布数据对应的温度值，Trefl为所述图案形成装置周围的辐射源的温度值；根据所述变换矩阵对所述图案形成装置待矫正的温度分布数据进行矫正。

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