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龙图腾网恭喜哈尔滨工业大学申请的专利一种高回转精度的开式平面静压气浮转台获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115586707B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-02-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211215632.0，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种高回转精度的开式平面静压气浮转台是由王波;吴言功;张凯文;乔政;丁飞设计研发完成，并于2022-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种高回转精度的开式平面静压气浮转台在说明书摘要公布了：一种高回转精度的开式平面静压气浮转台，属于超精密加工装备领域，具体方案如下：一种高回转精度的开式平面静压气浮转台，包括主轴转子、轴套和底座，轴套固定在底座上，主轴转子包括平台和设置在平台下表面中部的半球结构，轴套的上表面中部设置有容纳半球结构的凹槽Ⅰ，半球结构与凹槽Ⅰ形成半球轴承，轴套的上表面与平台的下表面形成止推轴承，从而形成一开式气浮轴承结构，配合表面节流的形式，使得本发明整体结构简单，加工制造方便，容易达到较高的精度。通过调节主轴转子及其负载的重力配合调节真空气路中的真空度来对气浮轴承施加一定预载，使得两个轴承面在气膜间隙合适的情况下达到一个最优刚度与承载的匹配，并具有较好的鲁棒性。

本发明授权一种高回转精度的开式平面静压气浮转台在权利要求书中公布了：1.一种高回转精度的开式平面静压气浮转台，包括主轴转子1、轴套2和底座3，所述轴套2固定在底座3上，其特征在于：所述主轴转子1包括平台11和设置在平台11下表面中部的半球结构12，所述轴套2的上表面中部设置有容纳半球结构12的凹槽Ⅰ21，所述半球结构12的底部与转子驱动装置4连接并受转子驱动装置4驱动旋转，所述半球结构12与凹槽Ⅰ21之间形成半球轴承，所述轴套2的上表面与平台11的下表面形成止推轴承，所述止推轴承与半球轴承的交界处设置有环形气道Ⅰ5，所述环形气道Ⅰ5与供气源连通，所述止推轴承上设置有环形气道Ⅱ6，所述环形气道Ⅱ6和半球轴承的底部均与真空泵连通；所述轴套2上对称设置有两个轴向气道Ⅲ22，两个轴向气道Ⅲ22的上端均与环形气道Ⅱ6连通，下端均与轴套2和底座3之间的孔隙Ⅰ23连通，所述半球轴承的底部通过轴套2与转子驱动装置4之间的孔隙Ⅱ24与孔隙Ⅰ23连通，所述孔隙Ⅰ23与真空泵连通。

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