恭喜浙江工业大学谢波获国家专利权
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龙图腾网恭喜浙江工业大学申请的专利一种基于In2O3/Pd纳米粒子组装结构的氨气气敏材料、其制备方法及柔性传感器件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115896696B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-02-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211330980.2，技术领域涉及：C23C14/08；该发明授权一种基于In2O3/Pd纳米粒子组装结构的氨气气敏材料、其制备方法及柔性传感器件是由谢波;孙健;胡军;钱浩宇;毛稀兵;周兴泉;张澳雪;温慧敏;夏盛杰设计研发完成，并于2022-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于In2O3/Pd纳米粒子组装结构的氨气气敏材料、其制备方法及柔性传感器件在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于In2O3Pd纳米粒子组装结构的氨气气敏材料、其制备方法及柔性传感器件，本发明的In2O3Pd纳米粒子组装材料利用团簇束流沉积技术制备，利用双靶团簇溅射源，在带有绝缘衬底的柔性叉指电极表面先后沉积In2O3纳米粒子和Pd纳米粒子；即可得到不同质量比例的In2O3Pd混合纳米粒子组装材料。即可利用该材料实现氨气浓度的定量测量。本发明与其他现有技术相比，本发明涉及的In2O3和Pd混合纳米粒子组装材料能提供高性能的氨气传感功能，且由于Pd纳米粒子对In2O3的化学修饰以及协同催化作用，混合纳米粒子组装材料相比于单一的In2O3具有更多的活性位点，可以在较低的温度下对氨气实现高灵敏度和快速响应的感知机能。
本发明授权一种基于In2O3/Pd纳米粒子组装结构的氨气气敏材料、其制备方法及柔性传感器件在权利要求书中公布了：1.一种基于In2O3Pd纳米粒子组装结构的氨气气敏材料，其特征在于所述In2O3Pd纳米粒子组装材料是利用团簇束流沉积技术制备，利用双靶团簇溅射源，在带有绝缘衬底的柔性叉指电极表面先后沉积In2O3纳米粒子和Pd纳米粒子，得到的不同质量比例的In2O3Pd混合纳米粒子组装材料；所述In2O3Pd混合纳米粒子中，Pd纳米粒子的质量占比为0.5%~10%；In2O3纳米粒子和Pd纳米粒子组合为无序均匀的混合结构，形成PdIn2O3混合纳米粒子组装材料。
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