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龙图腾网恭喜东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司申请的专利基于设计版图的扫描电子显微镜图像缺陷分类方法、装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115829951B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-02-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211453317.1，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权基于设计版图的扫描电子显微镜图像缺陷分类方法、装置是由请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2022-11-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于设计版图的扫描电子显微镜图像缺陷分类方法、装置在说明书摘要公布了：本申请提供了一种基于设计版图的扫描电子显微镜图像缺陷分类方法、装置、电子设备及计算机可读存储介质，该方法包括：获取扫描电子显微镜图像；基于扫描电子显微镜图像利用缺陷识别方法获取扫描电子显微镜图像的缺陷信息；其中，缺陷信息包括：缺陷位置信息、缺陷周边图形分组信息以及缺陷位置版图上下层连接关系信息中的至少一种；基于缺陷信息对缺陷进行分类。本申请能够有效地提高缺陷分类的准确率。

本发明授权基于设计版图的扫描电子显微镜图像缺陷分类方法、装置在权利要求书中公布了：1.一种基于设计版图的扫描电子显微镜图像缺陷分类方法，其特征在于，所述方法包括：获取扫描电子显微镜图像；基于所述扫描电子显微镜图像利用缺陷识别方法获取所述扫描电子显微镜图像的缺陷信息；其中，所述缺陷信息包括：缺陷位置信息、缺陷周边图形分组信息以及缺陷位置版图上下层连接关系信息中的至少一种；基于所述缺陷信息对所述缺陷进行分类；所述基于所述缺陷信息对所述缺陷进行分类，包括：基于所述缺陷周边图形分组信息对所述缺陷进行分类，生成第二分类结果；其中，所述第二分类结果用于表征周边图形相同的缺陷分为一类，所述周边图形不同的所述缺陷分为不同类；在所述第二分类结果中存在周边图形相同的缺陷之后，基于所述扫描电子显微镜图像利用版图位置的上下层连接关系识别算法获取所述扫描电子显微镜图像的所述缺陷位置版图上下层连接关系信息；基于所述版图位置的上下层连接关系对所述缺陷进行分类，生成第三分类结果；其中，所述第三分类结果用于表征版图位置的上下层连接关系中连接孔个数相同的图形分为一类，所述连接孔个数不同的图形分为不同类。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区北京经济技术开发区经海四路156号院12号楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。