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龙图腾网恭喜华海清科股份有限公司申请的专利一种化学机械抛光系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115890477B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-02-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211570483.X，技术领域涉及：B24B37/10；该发明授权一种化学机械抛光系统是由王春龙;王国栋;许振杰;赵德文;王同庆设计研发完成，并于2022-12-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种化学机械抛光系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种化学机械抛光系统，其包括：前置单元；抛光单元；清洗单元，设置于前置单元与抛光单元之间；所述抛光单元包括多个抛光模块，所述抛光模块包括抛光盘、抛光组件和装卸台，所述装卸台设置于抛光盘的外侧，所述抛光组件设置于抛光盘和装卸台的上侧；所述抛光组件包括支撑架和悬挂于支撑架下方的承载头，旋转的支撑架能够带动承载头装载的晶圆在装卸台与抛光盘之间移动；所述抛光模块还包括设置于承载头上方的保湿机构，所述保湿机构包括输液件和防护件，所述防护件罩设于所述承载头的上侧；所述承载头旋转至装卸台时，所述输液件能够与所述防护件插接固定并输送流体，以在承载头的外周侧形成水帘。

本发明授权一种化学机械抛光系统在权利要求书中公布了：1.一种化学机械抛光系统，其特征在于，包括：前置单元；抛光单元；清洗单元，设置于前置单元与抛光单元之间；所述抛光单元包括多个抛光模块，所述抛光模块包括抛光盘、抛光组件和装卸台，所述装卸台设置于抛光盘的外侧，所述抛光组件设置于抛光盘和装卸台的上侧；所述抛光组件包括支撑架和悬挂于支撑架下方的承载头，旋转的支撑架能够带动承载头装载的晶圆在装卸台与抛光盘之间移动；所述抛光模块还包括设置于承载头上方的保湿机构，所述保湿机构包括可移动的输液件和防护件，所述防护件罩设于所述承载头的上侧；所述承载头旋转至装卸台时，所述输液件能够与防护件插接固定并输送流体，以在承载头的外周侧形成水帘；所述防护件为环状结构，其下端配置有开口朝下的出液口，所述出液口沿防护件的环向设置且环向宽度均匀；所述防护件配置有同心的环形槽和水平的与环形槽相连通的连接孔，出液口与环形槽相连通；所述输液件与防护件的连接孔连通，以朝向环形槽输送流体并经由出液口排出而形成环形的水帘；控制输液件的流量并保证所述出液口与承载头的顶盖之间的竖向间距小于或等于200mm，以控制形成水帘的连续性。

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