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恭喜南京航空航天大学;中国兵器科学研究院宁波分院张平则获国家专利权

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龙图腾网恭喜南京航空航天大学;中国兵器科学研究院宁波分院申请的专利一种管体内壁的镀膜装置及其镀膜方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115961238B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-02-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211647751.3,技术领域涉及:C23C14/04;该发明授权一种管体内壁的镀膜装置及其镀膜方法是由张平则;杨凯;陈小虎;党博;魏东博;李逢昆;赖卓彦设计研发完成,并于2022-12-21向国家知识产权局提交的专利申请。

一种管体内壁的镀膜装置及其镀膜方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种管体内壁的镀膜装置,包括炉体,炉体为双层真空炉并作为阳极,炉壁用循环水冷却;炉体的底部内侧设置炉底托盘,炉底托盘与杆状阳极、工件承重托盘相连,工件承重托盘上设置中空靶材、辅助工装,中空靶材内穿过杆状阳极,辅助工装用于保温及支撑中空靶材,中空靶材的外侧、辅助工装的内侧设置管状工件;炉体内还设置工件阴极、靶材阴极,工件阴极与工件承重托盘相连,工件承重托盘与管状工件导电相连,靶材阴极与中空靶材通过连接导杆相连;工件阴极和电源二、炉体构成回路,产生辉光放电;靶材阴极和电源一、炉体构成回路,产生辉光放电。本发明处理管状工件时,涂层可设计性强,元素可选择种类丰富,为金属及其合金或导电陶瓷。

本发明授权一种管体内壁的镀膜装置及其镀膜方法在权利要求书中公布了:1.一种管体内壁的镀膜装置,其特征在于:包括炉体(3),所述炉体(3)为双层真空炉并作为阳极,炉壁用循环水冷却;所述炉体(3)的底部内侧设置炉底托盘(7),所述炉底托盘(7)与杆状阳极(8)、工件承重托盘(6)相连,所述工件承重托盘(6)上设置中空靶材(9)、辅助工装(11),所述中空靶材(9)内穿过杆状阳极(8),所述辅助工装(11)用于保温及支撑中空靶材(9),所述中空靶材(9)的外侧、辅助工装(11)的内侧设置管状工件(10);所述炉体(3)内还设置工件阴极(4)、靶材阴极(5),所述工件阴极(4)与工件承重托盘(6)相连,所述工件承重托盘(6)与管状工件(10)导电相连,所述靶材阴极(5)与中空靶材(9)通过连接导杆(12)相连;所述工件阴极(4)和电源二(2)、炉体(3)构成回路,产生辉光放电,用于活化和加热管状工件(10)表面;所述靶材阴极(5)和电源一(1)、炉体(3)构成回路,产生辉光放电,用于溅射靶材元素,沉积到工件表面;所述中空靶材(9)的表面设置陶瓷连接孔(901)和电子通道孔(902),所述电子通道孔(902)的直径为1~2mm,上下间距10~15mm,所述陶瓷连接孔(901)用于穿过陶瓷连接杆并与辅助工装(11)相连;所述靶材阴极(5)和工件阴极(4)同时辉光产生空心阴极效应。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人南京航空航天大学;中国兵器科学研究院宁波分院,其通讯地址为:210016 江苏省南京市秦淮区御道街29号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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