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龙图腾网恭喜北京屹唐半导体科技股份有限公司申请的专利反应腔室及晶圆刻蚀装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115985747B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-02-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211670381.5，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权反应腔室及晶圆刻蚀装置是由管长乐;张新云;范强设计研发完成，并于2022-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本反应腔室及晶圆刻蚀装置在说明书摘要公布了：本公开提供了一种反应腔室及晶圆刻蚀装置。反应腔室包括腔体、传片口、第一内衬和第一加热器。腔体内部设置有载片台。传片口与腔体的内部连通。第一内衬设置于腔体的内壁与载片台的外壁之间。第一加热器设置于腔体的内壁中且与第一内衬的位置对应，第一加热器用于对第一内衬进行加热。根据本公开的方案，通过第一加热器对第一内衬加热，提高了在进行晶圆刻蚀工艺时的第一内衬的温度，有利于反应腔室内的等离子体启辉，同时降低反应过程中的副产物在第一内衬上过度沉积。

本发明授权反应腔室及晶圆刻蚀装置在权利要求书中公布了：1.一种反应腔室，应用于晶圆刻蚀装置，其特征在于，包括：腔体，内部设置有载片台；传片口，与所述腔体的内部连通，用于输送晶圆至所述载片台；第一内衬，设置于所述腔体的内壁与所述载片台的外壁之间；所述第一内衬设置有通气孔，所述第一内衬与所述腔体的顶板之间形成第一抽气区域，所述第一内衬与所述腔体的底板之间形成第二抽气区域，所述第一抽气区域和所述第二抽气区域的空间体积随所述第一内衬的工作位置的变化而变化；第一加热器，设置于所述腔体的内壁中且与所述第一内衬的位置对应，所述第一加热器用于对所述第一内衬进行加热；抽气部，包括阀板、阀芯和阀体；所述阀体设置于所述腔体的外部且与抽气口连接，所述阀板设置于所述腔体的内部且与所述阀芯的第一端连接，所述阀芯的第二端可升降地插设于所述抽气口和所述阀体中；其中，在所述阀芯位于工作位置时，所述阀板与所述底板之间形成第一环空，所述阀芯与所述抽气口之间以及所述阀芯与所述阀体的内壁之间形成第二环空；所述第一环空、所述第二环空、所述第一抽气区域以及所述第二抽气区域同轴设置。

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