买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜清华大学申请的专利微纳制取方法、装置及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116593241B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-02-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310202321.9，技术领域涉及：G01N1/28；该发明授权微纳制取方法、装置及系统是由张震;刘义杰;李学轩设计研发完成，并于2023-03-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本微纳制取方法、装置及系统在说明书摘要公布了：本发明提供一种微纳制取方法、装置及系统，涉及微纳技术领域。方法包括：控制第一运动模块和或第二运动模块运行预制取模式；基于预制取模式运行结果确定第一运动模块和第二运动模块的实际制取运行参数；控制第一运动模块上的基准部定位至预设基准点；基于实际制取运行参数，确定第二运动模块的实际运动路径，控制第二运动模块相对于预设基准点沿实际运动路径运动；其中，第一运动模块上的基准部定位至预设基准点后，第一运动模块只沿预设方向产生运动。应用本发明提供的微纳制取方法，可以实现大范围微纳元件的制取，提高制取效率及制取精度。

本发明授权微纳制取方法、装置及系统在权利要求书中公布了：1.一种微纳制取方法，其特征在于，包括：提供目标制取样品；控制第一运动模块和或第二运动模块以预制取模式运行，以对所述目标制取样品进行预制取，确定预制取模式运行结果，所述第一运动模块通过作用于目标制取样品完成对微纳元件的刻蚀和或形貌扫描，所述第二运动模块承载目标制取样品；所述预制取至少包括根据所述第一运动模块是否可以与目标制取样品的表面始终产生作用，判断目标制取样品表面的平整度；根据所述第一运动模块和所述第二运动模块在所述预制取模式下运行并反馈生成的预制取模式运行结果，对所述第一运动模块、所述第二运动模块或者所述目标制取样品进行单个或多个调整，以满足实际制取状态的要求，并确定所述第一运动模块和所述第二运动模块的实际制取运行参数，所述实际制取运行参数包括所述第二运动模块的运动速度、所述第一运动模块作用于目标制取样品的接触力以及振幅、所述第一运动模块上的尖端的电压；控制所述第一运动模块和或所述第二运动模块运动，以使所述第一运动模块上的基准部定位至预设基准点，预设基准点是系统预先设定的空间坐标中的点或者基于目标制取样品的实际范围大小设定的点；基于所述实际制取运行参数，确定所述第二运动模块的实际运动路径，控制所述第二运动模块相对于所述预设基准点沿所述实际运动路径运动；其中，所述第一运动模块上的基准部定位至所述预设基准点后，所述第一运动模块只沿预设方向产生运动。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人清华大学，其通讯地址为：100084 北京市海淀区双清路30号清华大学清华园北京100084-82信箱；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。