恭喜大连皓宇电子科技有限公司王正国获国家专利权
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龙图腾网恭喜大连皓宇电子科技有限公司申请的专利半导体镀膜喷淋头平面性调节器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116219409B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-02-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310222522.5，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权半导体镀膜喷淋头平面性调节器是由王正国;包驷璋;徐家庆;唐丽娜设计研发完成，并于2023-03-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体镀膜喷淋头平面性调节器在说明书摘要公布了：本发明公开了一种半导体镀膜喷淋头平面性调节器，喷头高度调节板穿过三个均布的带肩铰链销，并通过三组均布的丝杆弹簧组连接到喷头轴密封垫板上，喷头高度调节板上均布安装有三个带锁紧千分尺头，带锁紧千分尺头的测头顶在喷头轴密封垫板上，喷头轴密封垫板的上端密封固定有喷头陶瓷连接件，喷头轴密封垫板的下端密封固定有喷头陶瓷套。本发明采用带锁紧千分尺头调节上下运动，千分尺本身精度在0.5mm50＝0.01mm，提高了整体调节精准度，另外，千分尺头本身带有轴心锁，锁紧调节杆位置稳定快捷，进一步提高了效率。
本发明授权半导体镀膜喷淋头平面性调节器在权利要求书中公布了：1.半导体镀膜喷淋头平面性调节器，其特征在于，包括喷头高度调节板2，喷头高度调节板2穿过三个均布的带肩铰链销3，并通过三组均布的丝杆弹簧组连接到喷头轴密封垫板6上，喷头高度调节板2上均布安装有三个带锁紧千分尺头5，带锁紧千分尺头5的测头顶在喷头轴密封垫板6上，喷头轴密封垫板6的上端密封固定有喷头陶瓷连接件8，喷头轴密封垫板6的下端密封固定有喷头陶瓷套7；丝杆弹簧组包括拉伸弹簧4、丝杆一13和丝杆二14，拉伸弹簧4的下端连接丝杆一13，丝杆一13与喷头轴密封垫板6螺纹连接，拉伸弹簧4的上端连接丝杆二14，丝杆二14穿过喷头高度调节板2并通过螺母15固定，螺母15位于喷头高度调节板2的上方；喷头高度调节板2上通过锁紧螺母与12寸喷淋头1连接。
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