恭喜成川科技(苏州)有限公司姚威获国家专利权
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龙图腾网恭喜成川科技(苏州)有限公司申请的专利一种晶圆搬运横移机构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222507571U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-02-18发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202323319113.1,技术领域涉及:H01L21/677;该实用新型一种晶圆搬运横移机构是由姚威设计研发完成,并于2023-12-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆搬运横移机构在说明书摘要公布了:本实用新型涉及一种晶圆搬运横移机构,包括:至少两级横移组件,分别为一级横移组件和二级横移组件,其中,一级横移组件位于二级横移组件的一侧与之连接;齿轮传动组件,其包括第一齿轮,与驱动端相连;第一齿条与二级横移组件相连;第一齿轮与第一齿条啮合,第一齿轮将转动转化为第一齿条沿第一方向或第二方向的移动;第二齿轮与二级横移组件相连;第二齿条与一级横移组件相连;第二齿轮与第二齿条啮合;第二齿轮将转动转化为第二齿条沿着第一方向或第二方向的移动;本实用新型通过齿轮传动控制三个横移组件同时平移,寿命更长几乎无需更换,传动准确平稳,能够承受更大的作用,且在平移的过程中不会产生粉尘污染晶圆,也不会产生较大的噪音。
本实用新型一种晶圆搬运横移机构在权利要求书中公布了:1.一种晶圆搬运横移机构,其特征在于:包括:从上到下依次层叠的固定板、一级横移组件和二级横移组件;使所述一级横移组件和所述二级横移组件移动的第一传动组件,所述第一传动组件包括:位于所述固定板的下表面的第一齿条,位于所述二级横移组件的上表面的第二齿条,贯穿一级横移组件与所述第一齿条和第二齿条啮合的第一齿轮;与所述第一齿轮连接的驱动器。
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