恭喜上海晶世创新材料科技有限公司钱玉立获国家专利权
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龙图腾网恭喜上海晶世创新材料科技有限公司申请的专利一种样品台均匀冷却装置和微波等离子体化学气相沉积系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222499363U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-02-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202323371559.9，技术领域涉及：C23C16/46；该实用新型一种样品台均匀冷却装置和微波等离子体化学气相沉积系统是由钱玉立;王垒;温简杰;孟庆霞设计研发完成，并于2023-12-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种样品台均匀冷却装置和微波等离子体化学气相沉积系统在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种样品台均匀冷却装置和微波等离子体化学气相沉积系统，涉及微波等离子体化学气相沉积相关领域。样品台均匀冷却装置包括样品台和设于样品台中的多组冷却机构。各组冷却机构均包括冷却管路、进液管路和出液管路。各组进液管路一端均与同组冷却管路的一端连通，另一端外接冷却循环装置。各组进液管路上均设有第一流量计和第一阀门。各组出液管路一端均与同组冷却管路的另一端连通，另一端外接冷却循环装置。沿样品台的中心向样品台的边缘方向，各组冷却管路依次环套排布。通过上述设置，实现了对样品台不同区域温度的局部调节，使薄膜在生长过程中，其表面温度可以达到均一。
本实用新型一种样品台均匀冷却装置和微波等离子体化学气相沉积系统在权利要求书中公布了：1.一种样品台均匀冷却装置，包括样品台，其特征在于：还包括设于样品台中的多组冷却机构1；各组所述冷却机构1均包括冷却管路2、进液管路3和出液管路4；各组所述进液管路3一端均与同组所述冷却管路2的一端连通，另一端外接冷却循环装置；各组所述进液管路3上均设有第一流量计31和第一阀门32；各组所述出液管路4一端均与同组所述冷却管路2的另一端连通，另一端外接所述冷却循环装置；沿所述样品台的中心向所述样品台的边缘方向，各组所述冷却管路2依次环套排布。
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