恭喜理想万里晖半导体设备(上海)股份有限公司常昱获国家专利权
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龙图腾网恭喜理想万里晖半导体设备(上海)股份有限公司申请的专利用于成膜腔的载板传动件以及成膜腔获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222499344U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-02-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202323370430.6，技术领域涉及：C23C14/50；该实用新型用于成膜腔的载板传动件以及成膜腔是由常昱设计研发完成，并于2023-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于成膜腔的载板传动件以及成膜腔在说明书摘要公布了：本实用新型提供用于成膜腔的载板传动件以及成膜腔。所述用于成膜腔的载板传动件包括相邻接的第一金属部件以及第二金属部件，其还包括设置在第一金属部件以及第二金属部件之间的绝缘部件，所述绝缘部件与所述第一金属部件以及第二金属部件中至少一者之间具有长条状狭缝。本实用新型能有效减少绕镀的影响，大幅延长维护更换周期。
本实用新型用于成膜腔的载板传动件以及成膜腔在权利要求书中公布了：1.一种用于成膜腔的载板传动件，其包括相邻接的第一金属部件以及第二金属部件，其特征在于，其还包括设置在第一金属部件以及第二金属部件之间的绝缘部件，所述绝缘部件与所述第一金属部件以及第二金属部件中至少一者之间具有长条状狭缝；所述传动件为传送滚轮，所述传送滚轮包括金属滚轮转轴、套设在金属滚轮转轴上的滚轴绝缘套、套设在滚轴绝缘套上的金属滚轮以及套设在金属滚轮上的滚轮胶圈，所述第一金属部件、第二金属部件以及绝缘部件分别为所述金属滚轮转轴、金属滚轮以及滚轴绝缘套，第一长条状狭缝设置在所述滚轴绝缘套与所述金属滚轮以及金属滚轮转轴之间。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人理想万里晖半导体设备(上海)股份有限公司，其通讯地址为：201306 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区江山路2699弄3号厂房；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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