恭喜拓荆科技(上海)有限公司王政获国家专利权
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龙图腾网恭喜拓荆科技(上海)有限公司申请的专利一种抽气环组件及半导体反应腔体获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222499355U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-02-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202323534525.7，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种抽气环组件及半导体反应腔体是由王政;关帅设计研发完成，并于2023-12-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种抽气环组件及半导体反应腔体在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体制造设备技术领域，更具体的说，涉及一种抽气环组件及半导体反应腔体。本实用新型提供了一种抽气环组件，至少包含一个抽气环与一个限制环：所述抽气环，设置在腔室侧部，用于将腔室内的气体抽出；所述抽气环，侧面开设有若干抽气孔；所述限制环，设置在抽气环内正对抽气孔一侧，对流入抽气孔的气流进行阻挡限制。本实用新型提供的一种抽气环组件及半导体反应腔体，提高了气流均匀性，优化了等离子体控制，有很强的适应性。
本实用新型一种抽气环组件及半导体反应腔体在权利要求书中公布了：1.一种抽气环组件，设置在半导体反应腔体内，其特征在于，至少包含一个抽气环与一个限制环：所述抽气环，设置在腔室侧部，用于将腔室内的气体抽出；所述抽气环，侧面开设有若干抽气孔；所述限制环，设置在抽气环内正对抽气孔一侧，对流入抽气孔的气流进行阻挡限制。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人拓荆科技(上海)有限公司，其通讯地址为：201306 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区鸿音路1211号10幢304室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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