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摘要:本发明公开了一种声表面波谐振器、滤波器、多工器及射频前端电路。该声表面波谐振器包括:压电基底;叉指换能器,包括过渡金属层、主金属层和保护层;所述过渡金属层设置于所述压电基底的一侧,所述主金属层设置于所述过渡金属层远离所述压电基底的一侧,所述保护层设置于所述主金属层远离所述压电基底的一侧;所述主金属层包括至少一层单质金属层;所述保护层包括金属保护层;所述单质金属层的质量密度大于所述金属保护层的质量密度。本发明通过设置叉指换能器的主金属层由质量密度大于金属保护层质量密度的单质金属层组成,有利于实现声表面波谐振器的小型化。
主权项:1.一种声表面波谐振器,其特征在于,包括:压电基底;叉指换能器,包括过渡金属层、主金属层和保护层;所述过渡金属层设置于所述压电基底的一侧,所述主金属层设置于所述过渡金属层远离所述压电基底的一侧,所述保护层设置于所述主金属层远离所述压电基底的一侧;所述主金属层包括至少一层单质金属层;所述保护层包括金属保护层;所述单质金属层的质量密度大于所述金属保护层的质量密度。
权利要求:
百度查询: 天通瑞宏科技有限公司 一种声表面波谐振器、滤波器、多工器及射频前端电路
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