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摘要：本实用新型公开了一种低噪声MEMS加速度计，包括上玻璃层、硅层、下玻璃层和两组马蹄形磁铁，上玻璃层上设有一个U型空腔，下玻璃层上设有一个矩形空腔，上玻璃层上设有金属上电极阵列，上玻璃层上设有上内部焊盘、上金属密封圈和焊料层；硅层包括大尺寸敏感质量区、E形折叠梁结构以及振子外框架；硅层上表面有一层金属层结构，马蹄形磁铁包括磁轭、磁铁本体和磁极片；敏感质量区、E形折叠梁结构和振子外框架的厚度相同，本实用新型通过深反应离子刻蚀技术实现了低噪声的质量‑弹簧振子结构，通过热压键合和胶键合的方式实现了玻璃‑硅‑玻璃的三明治加速度计结构，提高了MEMS加速度计的性能。
主权项：1.一种低噪声MEMS加速度计，包括上玻璃层1、硅层2、下玻璃层3和两组马蹄形磁铁4，其特征在于，所述上玻璃层1上设有一个U型空腔，所述下玻璃层3上设有一个矩形空腔，所述硅层2为质量-弹簧振子硅层2，所述上玻璃层1的上表面设有一层金属上电极阵列5，所述上玻璃层1上还设有上内部焊盘6、上金属密封圈7和焊料层8，所述焊料层8用于键合上玻璃层1和质量-弹簧振子硅层2；所述质量-弹簧振子硅层2包括大尺寸敏感质量区9、与敏感质量区9相连的带中间框架的E形折叠梁10结构以及与E形折叠梁10结构相连的振子外框架11；所述质量-弹簧振子硅层2上表面有一层金属层结构，所述金属层结构包括三角形的下电极阵列，所述下电极阵列与上玻璃层1表面的金属上电极阵列5组成位移-电容传感器，所述金属层结构还包括用于电磁反馈的金属线圈13、用于信号传输的下内部焊盘14、下金属密封圈15和外部焊盘16；所述马蹄形磁铁4包括磁轭17、磁铁本体18和磁极片19；所述敏感质量区9、E形折叠梁10结构和振子外框架11的厚度相同，并且所述敏感质量区9、E形折叠梁10结构和振子外框架11均处于同一上表面。
权利要求：
百度查询： 浙江大学 浙江大学绍兴研究院 绍兴市科技创业投资有限公司 一种低噪声MEMS加速度计
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