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摘要：本发明公开了一种用于石墨制品表面形成碳化硅涂层的设备，涉及材料表面处理技术领域，包括底座和放置于底座上的外炉体，所述外炉体的顶部固定安装有输气管，还包括导气机构，所述导气机构包括与输气管固定连通的连通盒，所述连通盒的顶部设置有进气管，传动组件，所述传动组件包括转动连接于连通盒内部的叶轮，所述底座上转动连接有开设有连接孔的下部转轴，通过推板的移动对气流进行输送，气流的动能增加，从而使反应气体在流动过程中更容易从石墨制品的孔洞内部经过，进而使得石墨制品上的孔洞内壁上能够充分形成碳化硅涂层，解决了现有装置难以在石墨制品孔洞内壁上形成碳化硅涂层的问题，使石墨制品上各个位置处的碳化硅涂层厚度趋于一致。

主权项：1.一种用于石墨制品表面形成碳化硅涂层的设备，包括底座（10）和放置于底座（10）上的外炉体（11），所述外炉体（11）的顶部固定安装有输气管（12），其特征在于，还包括：导气机构（20），所述导气机构（20）包括与输气管（12）固定连通的连通盒（21），所述连通盒（21）的顶部设置有进气管；传动组件（30），所述传动组件（30）包括转动连接于连通盒（21）内部的叶轮（31），所述叶轮（31）的底部固定安装有上部转轴（32），所述底座（10）上转动连接有开设有连接孔的下部转轴（33），所述下部转轴（33）和上部转轴（32）的内部分别设置有相连通的出气通道（29），所述下部转轴（33）上开设有条形槽（35），所述下部转轴（33）上套接有凸轮件（36），所述凸轮件（36）的内部滑动连接有嵌入条形槽（35）内部的插销（38）；控流机构（40），所述控流机构（40）包括套接于下部转轴（33）上的放置板（41），所述放置板（41）的内部开设有腔体（410），所述腔体（410）的底部开设有出气口（411），所述腔体（410）的内部滑动连接有推板（48），所述推板（48）和腔体（410）的内壁之间设置有弹簧c（49），所述放置板（41）的底部固定连接有下部孔板（44），所述下部孔板（44）内部的孔洞中滚动安装有滚珠（45），所述下部孔板（44）的内部宽度大于滚珠（45）的半径且小于滚珠（45）的直径；所述凸轮件（36）转动连接于放置板（41）的内部，所述推板（48）靠近凸轮件（36）的一侧固定连接有穿过弹簧c（49）的推杆（46），所述推杆（46）靠近凸轮件（36）的一端转动连接有滚轮（47）；所述放置板（41）的顶部滑动连接有上部孔板（42），所述上部孔板（42）的底部固定连接有支撑板（43），所述支撑板（43）贯穿并延伸至腔体（410）的内部，所述推板（48）的顶部倾斜；所述下部孔板（44）放置于石墨制品上方后，所述滚珠（45）被石墨制品顶入下部孔板（44）的内部，所述滚珠（45）与下部孔板（44）的孔洞之间产生缝隙，所述推板（48）往复滑动将反应气体吸入腔体（410）中然后使反应气体从出气口（411）中吹出，反应气体经过滚珠（45）与下部孔板（44）孔洞之间的缝隙吹出至石墨制品的孔洞中。

权利要求：

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