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摘要：一种微影系统和标线片结构及其制造方法，标线片结构包含具有图案化特征的标线片和围绕图案化特征的第一边界部分。标线片结构包含薄膜，此薄膜具有中间部分和围绕中间部分的第二边界部分。标线片结构包含设置在薄膜和标线片之间的框架，以将薄膜安装在标线片的图案化特征上。框架在标线片和薄膜之间建立了一个封闭空间，并包围了标线片的图案化特征。框架包含多个孔，并且多个孔在框架中产生开口的临界百分比，以将封闭空间与封闭空间外部之间的平衡压力差维持在临界压力以下。
主权项：1.一种微影系统，其特征在于，包含：一标线片结构，包含：一标线片，具有多个图案化特征；一薄膜，包含一中间部分和包围该中间部分的一第一边界部分；以及一框架，设置在该薄膜和该标线片之间，并且用以将该薄膜安装在该标线片的所述多个图案化特征上，其中该框架环绕所述多个图案化特征并在该标线片和该薄膜之间产生一封闭空间，其中该框架包含多个孔，并且其中所述多个孔的一数量大于所述多个孔的一临界数量，以将该封闭空间和该封闭空间外部之间的一平衡压力差维持在一临界压力下，并且其中所述多个孔包含具有三侧由该框架及一侧由该薄膜的该第一边界部分所形成的至少一个狭缝孔；以及一曝光装置，包含一辐射源，用以发射一辐射束以将该标线片的所述多个图案化特征反射和或投射到一基板上；以及该曝光装置进一步包含一或多个反射镜，用以将反射和或投射的所述多个图案化特征引导到该基板上。
权利要求：
百度查询： 台湾积体电路制造股份有限公司 微影系统和标线片结构及其制造方法
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