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摘要：本申请涉及一种薄膜体声波谐振器及其制作方法，该薄膜体声波谐振器包括依次层叠设置的衬底、第一电极、压电层和第二电极，压电层的谐振区内设有多个孔洞，孔洞在平行于衬底的方向上的截面形状与压电层中的晶体结构相适配，从而能大大减少压电层中横向声波的传输，有效避免声波能量的横向泄露。
主权项：1.一种薄膜体声波谐振器，其特征在于，包括依次层叠设置的衬底、第一电极、压电层和第二电极，所述压电层的谐振区内设有多个间隔排列的孔洞，所述孔洞在平行于所述衬底的方向上的截面形状与所述压电层中的晶体结构相适配；所述孔洞的排列密度从中心向边缘逐渐减小或逐渐增大。
权利要求：
百度查询： 武汉衍熙微器件有限公司 薄膜体声波谐振器及其制作方法
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