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摘要：本发明公开了一种基于内外摆线构型的体声波谐振器及体声波滤波器，属于谐振器技术领域，包括依次堆叠设置的衬底、支撑层、底电极、压电层和顶电极，衬底与支撑层之间设置有空腔，底电极和压电层重叠部分以及压电层和顶电极重叠部分的轮廓形状均为对称的封闭图形且封闭图形包括内摆线和或外摆线，所有内摆线均基于第一动圆和第一定圆得到，且所有外摆线均基于第二动圆和第二定圆得到。本发明的基于内外摆线构型的体声波谐振器能够使谐振器产生更少的振动节点，从而减少能量损耗，大大提高谐振器的性能。
主权项：1.一种基于内外摆线构型的体声波谐振器，其特征在于，包括依次堆叠设置的衬底（100）、支撑层（200）、底电极（300）、压电层（400）和顶电极（500），所述衬底（100）与所述支撑层（200）之间设置有空腔（600），其特征在于，所述底电极（300）和所述压电层（400）重叠部分以及所述压电层（400）和所述顶电极（500）重叠部分的轮廓形状均为对称的封闭图形且所述封闭图形包括内摆线（710）和或外摆线（720），所有所述内摆线（710）均基于第一动圆和第一定圆得到，且所有所述外摆线（720）均基于第二动圆和第二定圆得到。
权利要求：
百度查询： 广州市艾佛光通科技有限公司 一种基于内外摆线构型的体声波谐振器及体声波滤波器
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