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一种利用兰姆波A1模态的声谐振器设备 

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摘要:本公开涉及一种利用压电层103中的声兰姆波的声谐振器设备。所述谐振器设备包括介质衬底101;IDT结构,包括连接到第一汇流条的导电第一电极102a和连接到第二汇流条的导电第二电极102b,其中,所述第一电极和所述第二电极在所述介质衬底上周期性且交替地逐个设置;压电层103,与所述介质衬底间隔并平行设置。所述压电层设置在所述IDT结构的所述第一电极和第二电极上,以及设置在所述第一汇流条和第二汇流条上。所述IDT结构位于所述衬底和所述压电层之间,并且可以通过机械方式固定连接到两者,用于将替代电压转换为所述压电层中的所述声兰姆波,从而在与所述压电层中的厚度声剪切波谐振对应的频率上产生电谐振。

主权项:1.一种声谐振器设备100,其特征在于,包括:介质衬底101;叉指换能器interdigitaltransducer,IDT结构102,包括连接到第一汇流条105的多个导电第一电极102a和连接到第二汇流条104的多个导电第二电极102b,其中,所述第一电极102a和所述第二电极102b在所述介质衬底101的表面上周期性且交替地逐个设置;压电层103,与所述介质衬底101的所述表面间隔并平行设置;其中,所述压电层103设置在所述IDT结构102的所述第一电极和第二电极102a、102b上,以及设置在所述第一汇流条和第二汇流条104,105上;其中,所述IDT结构102用于将电信号转换为所述压电层103中的声兰姆波。

权利要求:

百度查询: 华为技术有限公司 一种利用兰姆波A1模态的声谐振器设备

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