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摘要：本发明公开了一种真空蒸镀机蒸镀腔内基板吊挂机构，涉及真空蒸镀设备领域，包括：蒸镀机机壳以及铰接装配在蒸镀机机壳侧面起到封闭作用的封盖，蒸镀机机壳的内部同心装配悬吊盘，悬吊盘位于蒸镀机机壳的内部上方，本发明通过第一吸附悬吊部件、第二吸附悬吊部件和切换单元的配合，能够将基板固定在第一吸附悬吊部件的下方进行单面蒸镀处理，然后在切换单元的控制下将基板转移到第二吸附悬吊部件的下方，且转移过程中能够使基板进行翻面，即能在蒸镀机不停机的情况进行双面蒸镀处理，而且在快拆装配单元的作用下还能对悬吊盘上的所有结构同时卸下，方便对第一吸附悬吊部件和第二吸附悬吊部件进行检修。
主权项：1.一种真空蒸镀机蒸镀腔内基板吊挂机构，其特征在于，包括：蒸镀机机壳（1）以及铰接装配在所述蒸镀机机壳（1）侧面起到封闭作用的封盖（2），所述蒸镀机机壳（1）的内部同心装配悬吊盘（3），所述悬吊盘（3）位于所述蒸镀机机壳（1）的内部上方，所述蒸镀机机壳（1）的内部开设有若干个哑铃形槽（4），所述哑铃形槽（4）包括第一容纳部、第二容纳部和连接部，第一容纳部位于第二容纳部远离所述悬吊盘（3）圆心的一侧，且连接部位于第一容纳部和第二容纳部之间，所述第一容纳部的内部设置有第一吸附悬吊部件，所述第二容纳部的内部设置有第二吸附悬吊部件；还包括：切换单元，用于对蒸镀的基板进行翻面切换蒸镀处理，所述切换单元设置在所述哑铃形槽（4）和所述悬吊盘（3）之间；快拆装配单元，便于将所述悬吊盘（3）与所述蒸镀机机壳（1）分离，对所述切换单元、第一吸附悬吊部件和第二吸附悬吊部件检修维护，所述快拆装配单元设置在所述蒸镀机机壳（1）和所述悬吊盘（3）之间。
权利要求：
百度查询： 成都顿威新型金属材料有限公司 一种真空蒸镀机蒸镀腔内基板吊挂机构
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