龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
摘要：本发明涉及一种生产复合帽元件、尤其用于MEMS部件的封装的复合帽元件的方法，包括：a提供底基板，具有通过在该底基板内的开口形成的至少一个窗口；b提供透明的盖基板，用于透明地覆盖所述底基板内的所述至少一个窗口；c其中所述底基板和所述盖基板具有不同的软化温度，且所述底基板的软化温度低于所述盖基板的软化温度；d在至少围绕窗口环绕地构造的连接区域内建立所述底基板和所述盖基板之间的密封的连接，以密封地封闭窗口；e至少在所述窗口的边缘区域内将所述互连的基板加热到所述底基板可变形而所述盖基板保持形状稳定的温度；f在窗口的区域内移动所述形状稳定的盖基板，同时在围绕窗口的区域内使可变形的底基板产生形变。本发明涉及相应的复合帽元件。
主权项：1.一种生产复合帽元件的方法，所述复合帽元件尤其用于MEMS部件的封装的复合帽元件，所述MEMS部件例如是MEMS镜，所述方法包括：提供底基板100，具有通过在所述底基板内的开口形成的至少一个窗口110；提供透明的盖基板200，用于透明地覆盖所述底基板100内的所述至少一个窗口110；其中所述底基板和所述盖基板具有不同的软化温度，且所述底基板的软化温度低于所述盖基板的软化温度；在至少围绕窗口110环绕地构造的连接区域300内建立所述底基板100和所述盖基板200之间的连接310、尤其密封的连接，以密封地封闭所述窗口；至少在所述窗口的边缘区域内将相互连接的基板加热到所述底基板可变形而所述盖基板保持形状稳定的温度，尤其高于所述底基板的软化温度而低于所述盖基板的软化温度的温度；在窗口的区域内移动形状稳定的盖基板，同时在围绕所述窗口的区域内使可变形的底基板形变，以形成所述复合帽元件。
权利要求：
百度查询： 肖特股份有限公司 肖特普瑞默赛勒公司 生产复合帽元件的方法以及复合帽元件
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号