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摘要：本实用新型公开一种碳化硅外延生长承载装置，其包括石墨托盘以及限位结构，所述石墨托盘设有用于承载晶圆的承载凸台，所述限位结构包括石墨环以及多个限位台，所述石墨环设于所述石墨托盘上并且其顶面高于所述承载凸台，多个所述限位台间隔地设于所述石墨环的顶面。因此，当晶圆因温场的不均匀而发生边缘翘曲时，所述限位台仍可以阻挡晶圆的边缘，即便是在外力作用下，也可以有效防止晶圆滑出石墨托盘，从而有效保护晶圆，减少晶圆掉落及裂片的风险，同时也避免了晶圆滑出而受到的污染，提高晶圆的质量。
主权项：1.一种碳化硅外延生长承载装置，其特征在于，包括：石墨托盘，所述石墨托盘设有用于承载晶圆的承载凸台；限位结构，所述限位结构包括石墨环以及多个限位台，所述石墨环设于所述石墨托盘上并且其顶面高于所述承载凸台，多个所述限位台间隔地设于所述石墨环的顶面。
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百度查询： 广东天域半导体股份有限公司 碳化硅外延生长承载装置
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