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摘要：本实用新型涉及半导体设备烘烤清洗技术领域，具体涉及一种烘烤排气管清洗装置，包括加热组件、总排气管和清洗剂管路；所述加热组件用于对晶圆进行烘烤，所述总排气管用于排出所述加热组件内的空气，所述清洗剂管路与所述总排气管相连通，用于为所述总排气管输送清洗剂，通过以上各部件的配合作用，利用所述清洗剂管路为所述总排气管输送清洗剂以达到自动清洗的目的；综上所述，在本申请提供的一种烘烤排气管清洗装置中，可以实现对所述总排气管进行定期自动清洗。
主权项：1.一种烘烤排气管清洗装置，其特征在于：包括：加热组件、排气支管、总排气管和清洗剂管路；所述加热组件包括加热板和烘烤盖，所述加热板上设置有烘烤盖，所述加热板与所述烘烤盖之间合围形成一容置区，所述烘烤盖上开设有与所述容置区连通的排气口；所述排气支管连通于所述排气口与所述总排气管之间；所述清洗剂管路与所述总排气管连通。
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百度查询： 上海华力微电子有限公司 一种烘烤排气管清洗装置
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