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摘要：本实用新型涉及喷淋清洁技术领域，公开了集成电路喷淋清洁装置，包括清洗槽，所述清洗槽内安装有喷淋装置，所述喷淋装置包括进水管、双通阀、三通阀一、输送管一、水管、锥形柱、输送管二、进水口、固定柱、孔洞、三通阀二，所述进水口固定连接于进水管上。本实用新型中，水洗槽喷淋锥形柱变更锥形喷洒，以及增加锥形柱数量，可大面积喷洒覆盖晶圆表面以提高清洁能力，有效将晶圆表面及其他异物清洗去除，进而提升产品良率。
主权项：1.集成电路喷淋清洁装置，包括清洗槽1，其特征在于：所述清洗槽1内安装有喷淋装置，所述喷淋装置包括进水管2、双通阀3、三通阀一4、输送管一5、水管6、锥形柱7、输送管二8、进水口9、固定柱10、孔洞11、三通阀二12，所述进水口9固定连接于进水管2上。
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百度查询： 日月新半导体(昆山)有限公司 集成电路喷淋清洁装置
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