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主动式减振系统 

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摘要:本实用新型公开了一种主动式减振系统。本实用新型中,一种主动式减振系统包括:下部装置,下部装置包括:底座、位于底座上方的基台,以及驱动基台相对于底座移动的下部位移器;基台背离底座的一侧具有第一参考面;探针距离传感装置,探针距离传感装置的扫描探针位于第一参考面上方,用于探测第一参考面与该扫描探针之间的距离;主控模块,主控模块与下部位移器和探针距离传感装置电性连接,主控模块根据扫描探针测第一参考面与该扫描探针之间的距离控制下部位移器驱动基台相对于底座移动。与现有技术相比,使得该主动式减振系统减振效果更好。

主权项:1.一种主动式减振系统,其特征在于,包括:下部装置,所述下部装置包括:底座、位于所述底座上方的基台,以及驱动所述基台相对于所述底座移动的下部位移器;所述基台背离所述底座的一侧具有第一参考面;探针距离传感装置,所述探针距离传感装置的扫描探针位于所述第一参考面上方,用于探测所述第一参考面与该扫描探针之间的距离;主控模块,所述主控模块与所述下部位移器和所述探针距离传感装置电性连接,所述主控模块根据所述扫描探针测所述第一参考面与该扫描探针之间的距离控制所述下部位移器驱动所述基台相对于所述底座移动。

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