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摘要：本实用新型提供了一种硅片吸附模组，包括：基板本体，所述基板本体的顶部开设有若干通气槽，所述通气槽的槽底开设有若干通气孔，每行所述通气槽内的所述通气孔通过连通孔连通，以及，所述连通孔的两端设置有排气孔，所述排气孔贯穿所述基板本体的侧壁；简言之，通过通气槽配合开孔的输送带，能够使输送带的表面形成负压区域，以使放在输送带表面的硅片被吸附在输送带的表面，跟随输送带行进，避免硅片在输送带上发生位移和振动；进一步的，通过排气孔和通气孔能够与通气槽进行连通，并且在排气孔与基板本体的贯穿处连接吸气泵，能够实现通气槽内的负压。
主权项：1.一种硅片吸附模组，其特征在于，包括：基板本体（100），所述基板本体（100）的顶部开设有若干通气槽（101），所述通气槽（101）的槽底开设有若干通气孔（102），每行所述通气槽（101）内的所述通气孔（102）通过连通孔（103）连通，以及所述连通孔（103）的两端设置有排气孔（104），所述排气孔（104）贯穿所述基板本体（100）的侧壁。
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百度查询： 常州捷佳创精密机械有限公司 一种硅片吸附模组
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