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摘要：本实用新型公开了气体混合技术领域的一种超纯气体混合用配比装置，包括混合筒和安装仓，所述安装仓开设在所述混合筒的内部下侧，所述混合筒的顶端左右两侧固定连接有进气管，所述混合筒的外侧壁右侧下侧固定连接有排气管，所述混合筒的内部上侧开有传动仓，所述传动仓的内腔底部左右两侧转动连接有齿轮从动螺杆，左右两侧所述齿轮从动螺杆的底端贯穿所述传动仓并延伸至所述混合筒的内腔，该超纯气体混合用配比装置，结构设计合理，可在输气完成后快速对进气管进行密封，防止混合筒内的气体发生回流，可通过混合杆以多轴多向转动对多种气体进行混合，提高了混合效率，降低了多种气体之间的反应时间。
主权项：1.一种超纯气体混合用配比装置，其特征在于：包括混合筒100和安装仓200，所述安装仓200开设在所述混合筒100的内部下侧，所述混合筒100的顶端左右两侧固定连接有进气管110，所述混合筒100的外侧壁右侧下侧固定连接有排气管120，所述混合筒100的内部上侧开有传动仓130，所述传动仓130的内腔底部左右两侧转动连接有齿轮从动螺杆131，左右两侧所述齿轮从动螺杆131的底端贯穿所述传动仓130并延伸至所述混合筒100的内腔，且左右两侧所述齿轮从动螺杆131的外侧壁螺接有螺纹套132，左右两侧所述螺纹套132的底端之间固定连接有安装板140，所述安装板140的顶部左右两侧固定连接有密封塞141，所述传动仓130的内腔左侧壁固定连接有第一电机150，所述第一电机150的动力输出轴左端固定连接有第一驱动杆151，所述第一驱动杆151的外侧壁左右两侧固定连接有第一驱动齿轮152，左右两侧所述第一驱动齿轮152与左右两侧所述齿轮从动螺杆131的顶端啮合连接。
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