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摘要：本实用新型公开了一种用于石英舟的硅片加工分片装置，包括机座，机座的顶端两侧分别固定安装有石英舟输送线，机座顶端的中部两侧分别固定连接支撑柱，支撑柱的顶端固定连接顶板，顶板的两侧分别开设有滑口，滑口内分别滑动安装有滑块，滑块的顶端均固定连接传动组件，传动组件固定连接伺服电机的输出轴，伺服电机固定连接支架的一端，支架的另一端固定连接顶板顶部一端；滑块的底端通过螺纹结构连接气缸的一端，气缸的另一端固定安装有安装块，安装块的底端固定连接固定座，固定座的底部固定安装有若干吸盘。通过伺服电机配合传动组件，可以带动吸盘往复的横向移动，同时气缸带动吸盘升降工作，进而实现对硅片的自动分片操作。
主权项：1.一种用于石英舟的硅片加工分片装置，包括机座1，所述机座1的顶端两侧分别固定安装有石英舟输送线13，其特征在于：所述机座1顶端的中部两侧分别固定连接支撑柱2，所述支撑柱2的顶端固定连接顶板3，所述顶板3的两侧分别开设有滑口4，所述滑口4内分别滑动安装有滑块5，所述滑块5的顶端均固定连接传动组件6，所述传动组件6固定连接伺服电机7的输出轴，所述伺服电机7固定连接支架8的一端，所述支架8的另一端固定连接顶板3顶部一端；所述滑块5的底端通过螺纹结构连接气缸9的一端，所述气缸9的另一端固定安装有安装块10，所述安装块10的底端固定连接固定座11，所述固定座11的底部固定安装有若干吸盘12，所述吸盘12位于石英舟输送线13的顶部。
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