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一种用于制造集成光电子器件的测试夹具 

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摘要:本实用新型涉及半导体测试技术领域,具体为一种用于制造集成光电子器件的测试夹具,包括安装箱体,所述安装箱体的顶部固定安装有防护顶盖,所述安装箱体的内部固定安装有支撑座,且支撑座的顶部设置有测试基座,所述安装箱体的内侧活动安装有位于支撑座中部的连接轴,且连接轴的顶端固定套装有调节齿轮,所述连接轴的外部固定套装有伞齿轮一。该用于制造集成光电子器件的测试夹具,探针通过铰接的调节杆二、调节杆一安装在滑座上,通过对调节杆一、调节杆二角度进行调节,可实现对探针位置的调节,从而使探针光电子芯片不同位置的电极进行测试,从而使该夹具可广泛应用于不同类型的光电子芯片测试。

主权项:1.一种用于制造集成光电子器件的测试夹具,包括安装箱体1,所述安装箱体1的顶部固定安装有防护顶盖2,其特征在于:所述安装箱体1的内部固定安装有支撑座3,且支撑座3的顶部设置有测试基座4,所述安装箱体1的内侧活动安装有位于支撑座3中部的连接轴5,且连接轴5的顶端固定套装有调节齿轮6,所述连接轴5的外部固定套装有伞齿轮一8,所述安装箱体1上活动安装有传动轴杆10,且传动轴杆10的端部固定套装有与伞齿轮一8配合的伞齿轮二9,所述支撑座3的顶部设置有可对光电子芯片夹持的若干芯片夹持组件7,所述防护顶盖2顶部的一侧设置有探针调节组件11,且探针调节组件11中包括可对光电子芯片测试的探针115。

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