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摘要：本实用新型公开了等离子蚀刻用清洗装置，涉及等离子蚀刻技术领域，包括真空腔和等离子清洗机，所述等离子清洗机内部设置有真空腔，所述真空腔上侧设置上电极板，所述真空腔下侧设置下电极板，所述上电极板与所述下电极板之间垂直设置有屏蔽板，所述屏蔽板外侧面环绕设置有U型电阻丝加热板，所述电阻丝加热板上部对称设置有接电柱，所述真空腔内的所述屏蔽板侧面上设置有限位块。本实用新型通过设置的屏蔽板、上电极板、下电极板、电阻丝加热板、真空腔和舱门，使得真空腔外侧通过电阻丝加热板得到加热升温，进而使得真空腔内放置的晶圆温度快速上升，提高去胶效率，进而缩短清洗装置对晶圆的清洗时间。
主权项：1.等离子蚀刻用清洗装置，包括真空腔3和等离子清洗机1，其特征在于：所述等离子清洗机1内部设置有真空腔3，所述真空腔3上侧设置上电极板13，所述真空腔3下侧设置下电极板11，所述上电极板13与所述下电极板11之间垂直设置有屏蔽板12，所述屏蔽板12外侧面环绕设置有U型电阻丝加热板15，所述电阻丝加热板15上部对称设置有接电柱16，所述真空腔3内的所述屏蔽板12侧面上设置有限位块4，所述限位块4上搭接有支撑板5，所述支撑板5上侧面中心设置有晶圆槽14，所述真空腔3内底侧设置有真空抽气孔9。
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