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摘要：本实用新型涉及一种光伏湿法设备的刻蚀机，尤其是一种刻蚀清洗机的滴水刀装置，包括：进水板，设有进水孔；过渡板，设于所述进水板的下方，设有与所述进水孔相通的上腔体、若干连通孔和与所述连通孔相通的下腔体；以及出水板，设于所述过渡板的下方，且设有若干与所述下腔体相通的出水孔。本实用新型提供的一种刻蚀清洗机的滴水刀装置能够形成均匀的水滴或水流，从而使硅片表面形成均匀且完整的膜，同时能够有效防止空气进入到下腔体内，进而保证形成水滴的稳定性，同时对水压和水路的要求较小，减少了耗水量，降低了成本。
主权项：1.一种刻蚀清洗机的滴水刀装置，其特征在于，包括：进水板1，设有进水孔11；过渡板2，设于所述进水板1的下方，设有与所述进水孔11相通的上腔体21、若干连通孔22和与所述连通孔22相通的下腔体23；以及出水板3，设于所述过渡板2的下方，且设有若干与所述下腔体23相通的出水孔32。
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百度查询： 无锡釜川科技股份有限公司 一种刻蚀清洗机的滴水刀装置
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