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摘要：本实用新型涉及掩膜设备技术领域，且公开了晶圆边缘不镀金选择性透光掩膜设备，包括掩膜组件，包括掩膜板框，所述掩膜板框内腔的底部固定安装有支撑架，所述支撑架的顶部可拆卸安装有掩膜网，所述掩膜网前侧和后侧的两侧均固定安装有连接环，所述掩膜板框内腔底部两侧的前侧和后侧均固定安装有支撑杆，所述支撑杆的表面滑动安装有固定环，所述支撑杆表面的底部设置有第一弹簧，所述第一弹簧的顶部与固定环的底部固定连接。本实用新型所达到的有益效果是：通过掩膜组件的设计，从而对晶圆边缘不需要镀金的区域进行掩膜处理，通过限位组件的设计，从而可以对掩膜网进行快速的安装和拆卸，当需要对掩膜网进行更换时更加的方便。
主权项：1.晶圆边缘不镀金选择性透光掩膜设备，其特征在于：包括，掩膜组件1，包括掩膜板框101，所述掩膜板框101内腔的底部固定安装有支撑架102，所述支撑架102的顶部可拆卸安装有掩膜网103，所述掩膜网103前侧和后侧的两侧均固定安装有连接环104，所述掩膜板框101内腔底部两侧的前侧和后侧均固定安装有支撑杆105，所述支撑杆105的表面滑动安装有固定环106，所述支撑杆105表面的底部设置有第一弹簧107，所述第一弹簧107的顶部与固定环106的底部固定连接，所述掩膜网103的前侧和后侧均固定安装有限位板108；以及两个限位组件2，分别设置于掩膜板框101内腔前侧的两侧，包括第二弹簧201，两个第二弹簧201相对的一侧均固定安装有挡板202，两个挡板202相对的一侧均固定安装有插杆203，所述挡板202的前侧固定安装有拉板204，所述拉板204的前侧贯穿至掩膜板框101的前侧。
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百度查询： 江苏晶度半导体科技有限公司 晶圆边缘不镀金选择性透光掩膜设备
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