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摘要：本实用新型公开了一种隔热型多晶硅还原装置，包括电加热盘，电加热盘的顶部设置有多个石墨加热棒，电加热盘的顶部还设置有可升降的炉罩，炉罩的内壁设置有隔热罩，电加热盘的内部开设有进气孔，且进气孔的进气端连接有混合气体管道，电加热盘的顶部还插设有插盘，插盘的顶部设置有若干块底板，每个底板的顶部均固定有硅棒，本实用新型通过设置的可拆卸的插盘，插盘顶部固定有硅棒，多晶硅沉积在硅棒表面，将炉罩和隔热罩移除后，插盘可从电加热盘上脱离，从而可以将硅棒与还原装置完全分离开，便于工作人员在后期将多晶硅从硅棒的表面取下。
主权项：1.一种隔热型多晶硅还原装置，包括电加热盘17，其特征在于：所述电加热盘17的顶部设置有多个石墨加热棒18，所述电加热盘17的顶部还设置有可升降的炉罩12，所述炉罩12的内壁设置有隔热罩22，所述电加热盘17的内部开设有进气孔25，且进气孔25的进气端连接有混合气体管道6，所述混合气体管道6的端部设置有罐体3，所述隔热罩22的外壁开设有通孔21，所述炉罩12的外壁设置有排气管5，所述排气管5上设置有第三气阀51，所述排气管5的延伸端贯穿炉罩12和通孔21，并延伸至隔热罩22的内部，所述电加热盘17的顶部还插设有插盘20，所述插盘20的顶部设置有若干块底板23，每个所述底板23的顶部均固定有硅棒19。
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百度查询： 内蒙古耀煜新能源科技有限公司 一种隔热型多晶硅还原装置
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