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一种高电子迁移率氧化物溅射靶材制备模具 

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摘要:本实用新型涉及一种高电子迁移率氧化物溅射靶材制备模具,旨在解决当前高电子迁移率氧化物溅射靶材制备模具中成型后的高电子迁移率氧化物溅射靶材不易拿取的技术问题,包括下模和上模,所述下模顶部四角布置有安装杆,所述下模顶部通过安装杆滑动安装有上模,所述下模模腔内底部布置有第二环槽,且第二环槽内部布置有弹簧,所述弹簧的顶部水平布置有圆盘,所述圆盘底部中心垂直布置有调节圆杆,且调节圆杆贯穿至下模的底部,所述调节圆杆表面等距布置有若干组第三通孔,所述第三通孔中布置有定位结构,本实用新型具备对成型后高电子迁移率氧化物溅射靶材拿取便捷的优点。

主权项:1.一种高电子迁移率氧化物溅射靶材制备模具,其特征在于,包括下模1和上模2,所述下模1顶部四角布置有安装杆3,所述下模1顶部通过安装杆3滑动安装有上模2;所述下模1模腔内底部布置有第二环槽106,且第二环槽106内部布置有弹簧4,所述弹簧4的顶部水平布置有圆盘5;所述圆盘5底部中心垂直布置有调节圆杆6,且调节圆杆6贯穿至下模1的底部,所述调节圆杆6表面等距布置有若干组第三通孔601,所述第三通孔601中布置有定位结构7。

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