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一种刻蚀机恒压滴液系统 

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摘要:本实用新型涉及一种光伏湿法的刻蚀设备,尤其是一种刻蚀机恒压滴液系统,包括:滴液箱,用于存放纯水;恒压管,设于所述滴液箱的下方,且与所述滴液箱相通;若干手动隔膜阀,设于所述恒压管上;若干气动隔膜阀,设于所述手动隔膜阀上,且与所述手动隔膜阀一一对应;以及若干滴水刀,设于所述气动隔膜阀上,且与所述气动隔膜阀一一对应。本实用新型提供的一种刻蚀机恒压滴液系统既能保证滴液的稳定性和均匀性,同时能保证长期稳定的运行,减少售后维修维护成本,降低了人工成本,同时提高了清洗的产能。

主权项:1.一种刻蚀机恒压滴液系统,其特征在于,包括:滴液箱1,用于存放纯水;恒压管5,设于所述滴液箱1的下方,且与所述滴液箱1相通;若干手动隔膜阀6,设于所述恒压管5上;若干气动隔膜阀7,设于所述手动隔膜阀6上,且与所述手动隔膜阀6一一对应;以及若干滴水刀8,设于所述气动隔膜阀7上,且与所述气动隔膜阀7一一对应。

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