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摘要：本实用新型公开了一种静电区可调的静电吸盘，该静电吸盘采用铝制机壳作为主体，并内置J‑R力生成组件。在机壳的顶部设有调节机构，该调节机构包括至少三个沿同轴环形阵列式排布的线性自由度。每个线性自由度在水平面上呈交错排列，当执行线性自由度时，会驱动一块静电块水平移动；本实用新型通过引入调节机构和线性模组，新技术实现了静电块的水平移动，使静电区的位置可调。这为系统提供了更大的灵活性，能够适应不同尺寸和形状的吸附物体。本实用新型采用线性模组的设计，包括旋转执行器和直线执行器的组合，使得系统具备微调功能。这使得在工艺过程中能够对吸附物体的位置进行精准微调，提高了吸附系统的精度和可控性。
主权项：1.一种静电区可调的静电吸盘，包括铝制机壳（1）和安装于其内的J-R力生成组件，其特征在于：所述铝制机壳（1）内顶部设有调节机构（7）；所述调节机构（7）包括至少三个沿同轴环形阵列式排布的线性自由度，每个线性自由度的方向在水平面上呈交错化，所述线性自由度执行时，驱动一静电块（704）作水平移动；所述静电块（704）上开设有若干个用于生成充氦气层的凸缘区，所述凸缘区的顶部用于吸附晶圆；所述J-R力生成组件执行时，对所述静电块（704）生成若干个微电场，所述微电场在凸缘区聚集并形成强电场，所述强电场对所述晶圆构成J-R吸附力。
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百度查询： 苏州盛拓半导体科技有限公司 一种静电区可调的静电吸盘
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