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摘要:本发明公开了CeLYSO多晶粉体制作生长设备及方法,涉及提拉法炉领域,该种CeLYSO多晶粉体制作生长设备及方法通过设置侧挡板组件和同步翻转组件,使得多个侧挡板在晶棒下料过程中能够反转成防护姿态将晶棒围住,从而能够在保证晶棒具有较快的下放速度下也不会发生晃动,从而大大降低掉棒的情况发生;设置的侧挡板组件由于在内抵板上安装有清洁刷,并配合设置的第二转动组件,在进行晶棒晃动防护工作的同时,使得多个侧挡板环绕晶棒转动,能够同时对晶棒的外周进行预清洁工作,利用下料晶棒的过程,实现对晶棒外周从上至下的清洁工作,降低了后续清洁工作的强度和时间,从而提升了整个晶棒处理过程的效率。
主权项:1.CeLYSO多晶粉体制作生长设备,包括生长室(2)以及位于生长室(2)上方的与生长室(2)内腔相连通的副室(6),其特征在于,所述副室(6)下端的外壁上等角度间距转动安装有若干个侧挡板组件(8),所述侧挡板组件(8)具有处于水平的扩张姿态以及呈竖直的将晶棒围住的防护姿态,所述副室(6)的外壁上安装有用于驱动侧挡板组件(8)翻转进行防护姿态以及扩张姿态切换工作的同步翻转组件(9);所述副室(6)包括通过轴承转动连接在副室(6)下端外壁上的连接圈(61),所述副室(6)下端的外壁上安装有用于驱动连接圈(61)转动的第二转动组件(62),所述侧挡板组件(8)转动安装在连接圈(61)上;所述侧挡板组件(8)包括通过轴承转动连接在连接圈(61)外壁上的第一转轴(81),所述第一转轴(81)的中部固定有翻转条(82),所述翻转条(82)远离第一转轴(81)的一端固定有支撑板(83),所述支撑板(83)上安装有内抵板(84),所述内抵板(84)远离翻转条(82)的一端固定有清洁刷(85);所述同步翻转组件(9)包括对称套设在第一转轴(81)两端的扭力弹簧(91),所述扭力弹簧(91)的一端与连接圈(61)的外壁固定,所述扭力弹簧(91)的另一端与第一转轴(81)的外壁固定,所述翻转条(82)远离支撑板(83)的一端通过轴销转动连接有滚轮(92),所述副室(6)下端的外壁上滑动安装有驱动圈(93),所述驱动圈(93)顶面的外圈部分呈倒圆角状设置,所述滚轮(92)抵触在驱动圈(93)的顶面上,所述副室(6)下端的外壁上对称固定有第二电动推杆(94),所述第二电动推杆(94)的伸出端与驱动圈(93)的外壁固定;所述第二转动组件(62)包括固定在连接圈(61)顶部的内齿圈(621),所述副室(6)下端的外壁上固定有第一电机(622),所述第一电机(622)的输出端固定有第一齿轮(623),所述第一齿轮(623)与内齿圈(621)啮合连接;所述驱动圈(93)的内壁对称固定有滑块(10),所述副室(6)的外壁上对称开设有第一滑槽(11),所述滑块(10)滑动插接在第一滑槽(11)内。
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百度查询: 安徽科瑞思创晶体材料有限责任公司 CeLYSO多晶粉体制作生长设备及方法
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