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摘要：一种用于半导体制造的药液中粒子的测量装置、过滤方法、制造方法及生产装置，该装置包括液槽、第一流路、从第一流路的分支点延伸至下游侧的合流点的第二流路、设置在分支点的上游侧的液体喷出机、配置在液体喷出机与分支点之间的过滤器及对第二流路的药液所含的粒子数进行计数的测量器。在第二流路中设有从分支点延伸且越朝向下游侧越在铅垂方向上下降的下降部。第一流路中，在分支点的上游侧与分支点邻接的流路和在分支点的下游侧与分支点邻接的流路排列在一条直线上；在分支点的上游侧与分支点邻接的流路的与第一流路延伸的方向正交的第一正交方向上的截面积和在分支点的下游侧与分支点邻接的流路的第一正交方向上的截面积相同。
主权项：1.一种用于半导体制造的药液中粒子的测量装置，其特征在于，包括：具有储存半导体制造用的药液的液槽，所述液槽具备供所述药液从所述液槽流出的流出端和供所述药液流入所述液槽的流入端；第一流路，其连结所述流出端和所述流入端，供所述药液流动；第二流路，其从所述第一流路中的分支点延伸至在所述第一流路中位于比所述分支点靠近其下游侧的合流点；液体喷出机，其在所述第一流路中设置在比所述分支点靠近其上游侧，使所述液槽内的所述药液流入所述第一流路；过滤器，其在所述第一流路中配置在所述液体喷出机与所述分支点之间；以及测量器，其配置在所述第二流路中，对所述第二流路内的所述药液中所含的粒子的数量进行计数；在所述第二流路中设置有从所述分支点延伸且越朝向其下游侧越在铅垂方向上下降的下降部，所述第一流路中，在所述分支点的上游侧与所述分支点邻接的流路、和在所述分支点的下游侧与所述分支点邻接的流路排列在一条直线上，所述第一流路中，在所述分支点的上游侧与所述分支点邻接的流路的与所述第一流路延伸的方向正交的第一正交方向上的截面积、和在所述分支点的下游侧与所述分支点邻接的流路的所述第一正交方向上的截面积相同。
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